กระบวนการของหลอดสุญญากาศพลังงานแสงอาทิตย์

หลอดเอฟเฟกต์พิเศษที่มีอุณหภูมิสูง หลอดอัลไพน์ และหลอดประสิทธิภาพสูงใช้กระบวนการแมกนีตรอนสปัตเตอร์แบบสามเป้าหมาย สองเป้าหมาย และเป้าหมายเดียวตามลำดับ

หลอดธรรมดามักใช้กระบวนการแมกนีตรอนสปัตเตอร์เป้าหมายเดียว